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産品名稱:
産品簡介:
适用於(yú)投産邊(biān)長尺寸182mm~230mm,厚度110-220μm,翹曲度<3度的矽片,制絨前上料、激光SE下料、擴散(退火、氧化、鍍膜、印刷)上料等隐裂、PL檢測。
矽片、電(diàn)池片隐裂和外觀檢測(cè),無需根據電(diàn)池片的尺寸進行調節,可兼容230mm以下的電(diàn)池片尺寸。
産品功能:在線全自動檢測隐裂、崩邊、缺角、脫晶等各類内部缺陷。
可檢缺陷:隐裂、破片、缺口、正背崩邊、點黑、圈黑、劃痕、皮帶印、塊黑、手印、吸盤印、翻液、頂齒印、藍齒印、水印、片内明暗差異、吸盤印、舟印、頂齒印、線痕、黑斑、黑邊、黑角、髒污、白斑、燒結不均、斷栅、同心圓等。
适用工位:制絨前上料、激光SE下料、擴散(退火、氧化、鍍膜、印刷)上料等
檢測指标:採圖形方式(靜态/動态)
檢測精度:0.1mm/pixel,隐裂 :寬度≥20um,長度≥1mm,崩邊 :面積≥0.25mm²,破片 :面積≥0.25mm²
410×313×752mm
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